沈阳航空航天大学高频感应等离子球化粉体制备平台W2025316招标公告

本次采购共划分为1个合同包，投标人须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分，否则视为无效投标。各包采购内容分别如下：

技术需求

一、功能部分要求

★1.系统采用模块化设计，用于制备球形粉末、纳米粉末。

★2.可处理具有不同特性的多种材料（金属和合金、氧化物、碳化物、氮化物、硼化物、陶瓷复合材料等）。

★3.无需外接气源用于去除样品表面有机污染物，微观清洁度纳米级。

★4.图形数据特征区域能够自定义识别提取并进行量化分析，针对同批次的图形数据，可一次性批量处理成百上千张图片，并可一一查看批量处理后的每张图形结果，导出所有图形的定量数据，且不需要编程；针对图形定量分析结果，可直接生成 word 版或者 PDF 版的数据报告，直方图和数据列表均可一键式生成，数据报告格式也可自定义编辑。

二、参数部分要求

1.电源：380-400V；50Hz。

★2.输出功率：≥80kW。

3.工作频率：1.6-2.4MHz。

4.稳定阳极电压：最多10kV。

5.阳极电压为9.5 kV时的阳极电流：最多10 A。

6.感应电源效率：≥70%。

★7.等离子体火炬的原始设计允许材料被加工进等离子体流，既可以直接进入等离子体的中心部分，也可以在等离子体火炬通道的出口处进行处理。

★8.可根据不同材料的制备调节等离子气体消耗量。

9.真空密封，泄漏≤5×10^-5升/秒。

★10.可使用多种等离子体形成气体，如：Ar、N₂、空气、He（高达90%)、H₂（高达25%)和O₂，以及这些气体的不同混合比例。

11.放电室内的等离子体稳定：通过涡流或涡流与轴向流的组合。

12.等离子火炬通道直径：55 - 80 mm。

13.等离子炬通道长度：150-300 mm。

14.等离子体流长度-纯空气作为等离子体形成气体时，最长可达500 mm。

15.等离子体形成气体消耗量在15-150 L (标)/min范围内。

16.等离子炬点火：电晕放电或电弧放电。

17.控制系统可监测生命体征系统参数和操作参数，至少包括气体流量启动、水流速率、温度和气体压力。并且包含系统联锁装置。

18.从等离子电源的控制面板上启动工艺气体供应，以及真空三极管预加热的电源供应；并接通控制高压和等离子体起始装置的电源。

19.流量、温度、反应器压力，如果这些参数中的任何一个超出范围，则联锁系统安全关闭。

20.关键线路压力指示，关键位置压力监测报警等级检测。

21.自动子程序（系统抽真空、工作气体填充、钝化、过滤器吹扫、将工作气体排至储罐、气体回收、粉末给料器脱气等）。

22.带有预先制定的详细条件的自动等离子体点火选项和启动程序。

23.基于PLC的系统应提供对所有等离子炬、电源和外围设备的自动手动控制监控与操作。

24.紧急关断按钮。此紧急按钮应在安全条件下停止等离子系统。紧急关断由硬件完成。

25.报警监控和记录事件。

26.服务操作具有有限的安全联锁。

27.显示和存储的典型数据：板电流和电压；向所有区域输送气体；冷却水温度输入/输出；系统压力。

28.所有系统应采用AISI 304或AISI 316合金制造。

29.主处理反应器、旋风分离器、过滤器、粉罐、换热过渡管等外表面的粗糙度应为Ra≤0.8。

30.主反应器和旋风分离器必须有水冷夹套。

31.主处理反应器应允许水平和垂直安装射频等离子炬。当水平安装射频等离子炬时，主处理反应器盖应有开口，以便将粉末垂直于等离子体喷射轴线送入等离子体喷射中。

32.材料等离子体处理系统的设计必须具有高度的灵活性，并且能够用于获得球形粉末、纳米粉末合成和等离子体表面处理。

33.粉末进料速率显示器。

34.高精度粉末进给速率调节。

35.多个可适应粉末脱气的端口。

36.粉末给料器的控制箱可拆卸，易于清洁，可远程操作控制粉末给料器。

37.可用颗粒尺寸范围：20-500 μm。

38.进料速率范围：1-1900 g/min。

39.典型重复性：≤3%。

40.颗粒形态：不规则形状／圆形。

41.远程控制阀，以及用于监测材料等离子体处理系统中绝对压力的压力传感器。

42.真空装置必须提供系统对材料等离子体处理的抽气能力≥70 L/s。

43.无油真空泵站必须具有可调驱动速度，并确保在等离子体形成气体流速为15-150 L/min的范围内，系统内维持材料等离子体处理操作压力的能力，该操作压力范围为20 kPa至110 kPa。

44.气体处理：Ar、Ar/H₂、Ar/He、N₂。

45.变频驱动无油气密压缩机。

46.储气罐容积不小于0.9 m³。

47.储气罐压力监测和控制。

48.适于初步储罐抽真空的端口。