序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额(元) | 预计采购时间(填写到月) | 备注 |
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1 | 原子级表面粗糙度和应力仪 | 拟采购一台原子级表面粗糙度和应力仪,要求分辨率达亚纳米级或原子级,兼具表面形貌和应力/应变测量功能,适用于光刻机镜片、半导体晶圆及超精密光学元件的在线与离线检测,可识别微观缺陷与残余应力,支持工艺优化与质量控制。 | 2920000.00 | 2025-07 |
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序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额(元) | 预计采购时间(填写到月) | 备注 |
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1 | 原子级表面粗糙度和应力仪 | 拟采购一台原子级表面粗糙度和应力仪,要求分辨率达亚纳米级或原子级,兼具表面形貌和应力/应变测量功能,适用于光刻机镜片、半导体晶圆及超精密光学元件的在线与离线检测,可识别微观缺陷与残余应力,支持工艺优化与质量控制。 | 2920000.00 | 2025-07 |
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