润西微电子（重庆）有限公司DRY ETCH LAM TOOL Service公告

采购公告

公告编号：DZXYGG202505260013

一、采购项目基本情况

采购人：润西微电子（重庆）有限公司

采购项目编号：DZCGXY202505260009

采购项目名称：DRY ETCH LAM TOOL Service

采购内容或范围：

二、供应商资格要求

1. 资格:1、 业绩要求：

a) 2023年至今有12吋晶圆制造厂，LAM2300系列机台（包括Kiyo45，Flex45，Metal，Metal45）Trouble Shooting服务，机台翻新订单，不包含PM或更换零备件服务，需提供人力服务订单或者合同，作为业绩佐证

2、 人员资质要求

a) 至少1人有LAM2300系列机台设备工艺维护相关经验10年以上，需提供履历承诺函，并盖公司印章，作为佐证。

b) 至少3人有LAM2300系列机台设备工艺维护相关经验5年以上，其中至少1人具备工艺调试相关经验5年以上，需提供履历承诺函，并盖公司印章，作为佐证。

c) 现场工程师必须具备LAM2300系列机台设备工艺维护相关经验5年以上，入厂前需提交其履历承诺函，并盖公司印章，由我司确认后方可入厂。

3、 备件库存率要求

a) LAM2300系列机台国内零备件率>90%，包括耗材和非耗材，含贵重部件如：RFG/Match等RF Loop备件，ATM/VTM Robot等传送部件，Turbo Pump，阀件等真空部件，DC电源/PCB，需提供库存清单，或备件机台照片及序列号并盖公司印章，作为佐证。

三、采购文件的获取

采购文件在华润集团守正电子招标平台发布，不再另行线下提供纸质采购文件，凡有意参与者请自行登录守正平台查看和下载采购文件。

四、响应文件的提交

响应文件提交/报价截止时间： 2025-06-10 08:00:00（北京时间，若有变化另行通知）

响应文件提交/报价方式：在响应文件提交/报价截止时间前，通过华润集团守正电子招标平台提交电子响应文件或报价，逾期提交将被拒收。

五、采购人联系方式

联系人：米婷婷

电话：15213207879

邮箱：mitingting5@cq.crmicro.com

六、采购明细

行号	采购内容	需求数量	单位	补充说明
1	LAM 2300 Tool Service	200	小时	预估需求,结算以实际发生为准

七、答疑澄清、通知

答疑澄清、通知等文件一经在华润集团守正电子采购平台发布，视为已发放给相应供应商（发放时间即为发出时间），请随时关注华润集团守正电子采购平台发布的相关信息，并及时查阅和处理。

八、服务费交纳

本项目不收取服务费。

九、其它事项

1.本公告在华润集团守正电子采购平台(https://www.szecp.com.cn)上公开发布。

2.本项目采购通过守正平台线上进行，供应商需注册华润集团守正电子采购平台，通过平台进行响应文件的递交或报价，具体操作步骤可查阅网站首页帮助中心的操作手册，也可以联系守正客服。

3.如对采购项目有异议，请登录华润集团守正电子采购平台,通过异议菜单提出。

2025年05月26日