当前位置：
项目概况
北京大学磁控溅射-刻蚀自动化真空系统采购项目 招标项目的潜在投标人应在北京明德致信咨询有限公司官网（[链接]）获取招标文件，并于2026年11月30日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：BMCC-ZC26-1269
项目名称：北京大学磁控溅射-刻蚀自动化真空系统采购项目
预算金额：582.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：582.000000 万元（人民币）
采购需求：
见招标文件第五章“货物需求一览表及技术需求”。
包号 | 采购包名称 | 数量 | 预算金额 | 是否接受进口产品 |
01 | 磁控溅射-刻蚀自动化真空系统 | 1套 | 582万元 | 否 |
注：1.交货时间：合同签订后180日内交货并安装完毕。 2.交货地点：北京大学用户指定地点。 3.简要技术需求及用途：北京大学拟采购磁控溅射-刻蚀自动化真空系统，设备一体化集成真空传送腔体、独立 ICP 刻蚀工艺腔体、独立磁控溅射腔体通过真空腔体模组连接，实现晶圆在真空环境下自动传送，刻蚀腔采用电感耦合等离子体刻蚀（ICP刻蚀）工艺，适用于2-8英寸Metal、ITO、SiC、AlN、ZnO、4元系化合物等工艺场景，溅射腔采用不锈钢水冷真空腔体，搭配冷泵 / 分子泵等高真空机组，可沉膜种类：Metal、合金材料、SiO2、TaN、陶瓷等。具体要求详见招标文件第五章。 | ||||
合同履行期限：按招标文件要求。
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
本项目不专门面向中小企业采购。
3.本项目的特定资格要求：遵守国家有关法律、法规、规章；单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加本项目的投标。为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本项目的投标。通过“信用中国”网站（[链接]）和中国政府采购网（[链接]）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），被列入失信被执行人、重大税收违法失信主体、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本次采购活动。投标人必须向招标代理机构获取招标文件。
三、获取招标文件
时间：2026年11月06日 至 2026年11月13日，每天上午9:00至11:30，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）
地点：北京明德致信咨询有限公司官网（[链接]）
方式：只接受电汇或网银购买（注：电汇或网银须于2026年11月13日17:00前到账）。
售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：2026年11月30日 09点30分（北京时间）
开标时间：2026年11月30日 09点30分（北京时间）
地点：北京市海淀区学院路30号科大天工大厦B座17层1702室第七会议室，如有变化，另行通知。
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
（1）详细报名方式请完整阅读以下全部内容：
1）供应商请登录“北京明德致信咨询有限公司”官网（[链接]），右上角点击“我的项目”，注册登录后点击左侧“项目报名”，找到对应项目按提示完善信息、上传报名费转账凭证，点击提交即可。工作日17点（含）前提交的申请，将于当日审核；17点后提交的申请，将于下一个工作日审核。审核结果将以邮件形式通知,或在“我的投标”中查看报名状态。有关报名过程的问题，请拨打010-82370045进行咨询。有关报名信息的疑问反馈，请按报名页面最下方的提示，发送邮件反馈。
2）银行账户信息，电汇购买招标文件、缴纳投标保证金及采购代理服务费的唯一账户：
汇款或转账时请务必附言“项目编号+用途”，例如：BMCC-ZC26-1269-4标书款或保证金。
公司名称：北京明德致信咨询有限公司
开 户 行：中国工商银行股份有限公司北京东升路支行
账 号：0200 0062 1920 0492 968
3）招标文件的获取：纸质版招标文件：北京明德致信咨询有限公司前台领取；电子版招标文件：供应商登录“北京明德致信咨询有限公司”官网，于“我的项目”→“我的投标”中找到已“审批通过”的项目信息，点击下载获取。
（2）问题咨询联系方式的说明：
1）有关购买招标文件、领取中标通知书及服务费发票、缴纳及退还保证金事宜的联系电话：010-82370045；
2）有关招标文件技术部分的问题咨询：请拨打公告“项目联系方式”中项目联系人的联系方式或发送问题到邮箱。
（3）本项目的公告发布媒介：仅在中国政府采购网发布。对其他网站转发本公告可能引起的信息误导、造成供应商的经济或其他损失的，采购人及采购代理不负任何责任。
（4）针对本项目的其他特别说明：
1）需要落实的政府采购政策：促进中小企业、监狱企业、残疾人福利性单位发展，优先采购节能产品、环境标志产品、鼓励开展信用担保、支持本国产品政策等。
2）投标文件请于开标当日（投标截止时间之前）递交至开标地点，逾期递交文件恕不接受。
3）届时请投标人派代表参加开标仪式。
4）如本公告内容和招标文件内容不一致，以招标文件为准。
具体内容详见附件下载
BMCC-ZC26-1269-4
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：北京大学
地址：北京市海淀区颐和园路5号
联系方式：吴老师，010-62758587
2.采购代理机构信息
名 称：北京明德致信咨询有限公司
地 址：010-61196355、15801412428
联系方式：孙恺宁、刘亚运、吕家乐、徐昊云、王爽、吕绍山、高宇、张闻
3.项目联系方式
项目联系人：孙恺宁、刘亚运、吕家乐、徐昊云、王爽、吕绍山、高宇、张闻
电 话： 010-61192267、15801412428、lyy@[链接]
客服电话
